В 1972 году (приказ ректора №12 от 17 января 1972 г.) на базе кафедр «Производственной технологии и материалов» и «Конструирования и производства радиоаппаратуры» были организованы две профилирующие кафедры: «Конструирования радиоэлектронной аппаратуры» (КРЭА) и «Технология производства радиоэлектронной аппаратуры» (ТРЭА). Первым заведующим кафедрой ТРЭА назначен кандидат технических наук, доцент Сеченов Дмитрий Акимович.
В 1988-89 уч. году приказом №318 от 21.06.88 г. по ТРТИ каф. ТРЭА переименована в каф. микроэлектроники и технологии больших интегральных схем (МЭТ БИС) с присоединением каф. ЭВПТ (электовакуумной и полупроводниковой техники).
1 июля 2001 года заведующим кафедрой МЭТ БИС назначен Светличный Александр Михайлович.
7 апреля 2004 г. приказом №167 кафедра микроэлектроники и технологии больших интегральных схем (МЭТ БИС) переименована в кафедру технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры (ТМиНА).
С 2006 по 2013 гг. заведующий кафедрой Агеев Олег Алексеевич.
С ноября 2013 г. по июнь 2017 г. заведующий кафедрой Поляков Вадим Витальевич.
С июня 2017 г заведующий кафедрой Коломийцев Алексей Сергеевич
5 марта 2014 г. приказом №79-ОД на основании решения Ученого совета ЮФУ кафедра технологии микро- и наноэлектронной аппаратуры (ТМиНА) переименована в кафедру нанотехнологий и микросистемной техники (НТ МСТ).