Научно-образовательный центр “Нанотехнологии”
(Сайт подразделения http://nanotech.sfedu.ru)
Научно-образовательный центр по направлению “Нанотехнологии” (НОЦ НТ) Южного федерального университета (ЮФУ) создан на базе Технологического института ЮФУ в г. Таганроге в рамках реализации Приоритетного национального проекта “Образование” и Федеральной адресной инвестиционной программы (мероприятия по развитию инфраструктуры наноиндустрии в РФ). В 2006-2008 г.г. для НОЦ НТ ЮФУ закуплено уникальное оборудование на сумму 479,3 млн.руб.
Область деятельности
- наноматериалы
- наноэлектроника
- наносистемная техника
- производственные нанотехнологии
- биомедицинские нанотехнологии
- нанодиагностика
- нанохимия
- нанофизика
Научные интересы
- элементная база наноэлектроники и молекулярной электроники
- элементная база квантовых клеточных структур и квантовых компьютеров
- приборно-технологическое моделирование в наноэлектронике
- исследование энергетического строения наногетероструктур
- методы контроля электрофизических свойств наногетероструктур
- планарные технологии с нанометровым разрешением
- технологии формирования трехмерных наноструктур
- зондовые нанотехнологии
- фотонно-стимулированные процессы формирования наноструктур
- микро- и наноаналитические системы состава жидких и газовых сред
- микро- и нанооптикомеханические системы преобразования физических величин
- датчики на основе наноструктурированных материалов и др.
Основными задачами НОЦ НТ являются:
- учебная и учебно-методическая деятельность;
- проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ;
- целевая подготовка и переподготовка специалистов для народного хозяйства, подготовка кадров высшей квалификации;
- внедренческая деятельность по производству и реализации наукоемкой продукции.
Структура НОЦ НТ ЮФУ включает в себя следующие лаборатории:
- лаборатория кластерных технологий (гермозона 1 – многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ);
- лаборатория элионных нанотехнологий;
- лаборатория зондовых нанотехнологий;
- лаборатория наноматериалов;
- технологическая гермозона 2 (технологии микро- и наномеханики);
- лаборатория микро- и наносистем;
- лаборатория моделирования нанотехнологий и САПР;
- лаборатория нанодиагностики;
- центр лазерных технологий;
- Лаборатория нанофотоники и оптоэлектроники.
Основные результаты:
- основы технологии формирования планарных и трехмерных наноструктур
- технология формирования каталитических центров для выращивания углеродных нанотрубок
- фотонностимулированная технология формирования структур металлической наноэлектроники
- теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования элементов наноэлектроники с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда в системе связанных квантовых областей, характеризующихся субпикосекундными задержками переключения
- теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования интегральных инжекционных лазеров на основе наногетероструктур с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда, обеспечивающих амплитудную модуляцию излучения сигналами терагерцового диапазона для телекоммуникационных и вычислительных систем, средств связи, высокочувствительных систем медицинской диагностики, систем регистрации и анализа быстропротекающих физических процессов
- принципы построения и теория трехосевых наномеханических сенсоров параметров движения объектов
- методы и программные средства проектирования быстродействующих статических ОЗУ на основе наноразмерных элементов и др.
Основное оборудование НОЦ НТ:
- комплекс НАНОФАБ НТК-9 фирмы NT-MDT, включающий модули: СЗМ, ФИП для создания 3D структур, ФИП с системой газовых инжекторов, ФИП локальной имплантации, лазерной абляции, ГФХО для осаждения углеродных нанотрубок, молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs и твердых растворов на его основе, отжига образцов;
- электронный микроскоп Nova NanoLab 600 фирмы FEI, включающий систему электронной литографии ELPHY, систему микроанализа EDS, систему газовой химии для осаждения и травления материалов;
- комплект оборудования для исследований зондовыми методами: СЗМ Solver P47Pro, нанолаборатория Ntegra Vita, учебные СЗМ NanoEducator;
- Комплект оборудования для технологий микро- и наномеханики: установки плазмохимического осаждения в индуктивно-связанной плазме STE ICPd 47 и STE ICPe 45, установка плазмохимического осаждения poly-Si VISION 310PECVD, установка плазмохимического травления в кислородной плазме YES-CV200RFS, установка электронно-лучевого и магнетронного напыления AUTO500, установка термического отжига STE ThA 49 LC, установка совмещения и экспонирования MJB4, центрифуга для нанесения резистов WS-400E-NPP, центрифуга для сушки образцов WS-400E-6NPP, плитка для сушки резистов HP-401-250, плитка для сушки образцов HP-160-250, шкаф химический для химико-динамического травления, печь диффузионная PEO-604, зондовая станция ЭМ6070А, измерительный комплекс Keithley 4200-SCS, установка для измерения ЭДС Холла Ecopia HMS-3000/1T, зонд для полуизолирующих подложек LEI 2017B, установка бесконтактного измерения удельного сопротивления LEI 1510m40 и др.
Центр коллективного пользования “Нанотехнологии”
(Основной сайт http://ckpnano.sfedu.ru/ )
ЦКП «Нанотехнологии» был создан в 2003 году как Региональный межведомственный центр коллективного пользования “Нанотехнологии”. В 2009 году преобразован в Центр коллективного пользования «Нанотехнологии» Южного федерального университета. ЦКП функционирует на принципах межвузовской и межведомственной кооперации, выполняя централизованное обслуживание научных исследований в соответствии с положением о центре.
ЦКП “Нанотехнологии” в своем составе имеет следующие лаборатории:
- лаборатория микро- и наносистем;
- лаборатория материаловедения и технологий;
- лаборатория оптоэлектроники;
- технологическая гермозона.
Приборный парк:
Многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9, растровый электронно-ионный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600, сканирующая зондовая нанолаборатория Ntegra Vita, атомно-силовой туннельный микроскоп “Solver P47”, комплекс туннельных микроскопов “NanoEducator”, сканирующий электронный микроскоп “Phenom”.
Сфера деятельности:
Деятельность ЦКП “Нанотехнологии” состоит в выполнении научно-исследовательских работ по микро- и нанотехнологии, проектированию и конструированию полупроводниковых приборов микро- и наноэлектроники, а также обучении и повышении квалификации кадров, научно-методической помощи в области исследований поверхности и наноразмерных систем.
Основными потребителями услуг центра “Нанотехнологии” являются высшие учебные заведения, предприятия, научные организации г.Таганрога, Ростовской области и Южного Федерального округа. Услуги, предоставляемые ЦКП “Нанотехнологии” для различных организаций и предприятий являются экспериментальной площадкой для производства новых приборов и устройств в области микро- и нанотехнологий.
НОЦ «Микросистемной техники и мультисенсорных мониторинговых систем» ИНЭП ЮФУ
На кафедре ТБХ функционирует НОЦ «Микросистемной техники и мультисенсорных мониторинговых систем» ЮФУ (НОЦ МСТиМСМС ЮФУ), в котором студенты нарабатывают необходимые компетенции путем применения знаний, получаемых в учебном процессе, при проведении научных исследований проводимых при выполнении научно-исследовательских работ.
НОЦ МСТиМСМС ЮФУ образован приказом руководителя ТТИ ЮФУ от 20.03.2009 г. №140 и ректора ЮФУ от 27.05.2009 №1975. В пользование НОЦ «Микросистемная техника и мультисенсорные мониторинговые системы» переданы технологическое оборудование и производственные площади гермозоны НИИ МВС (ауд. И-121).
Целью создания НОЦ МСТиМСМС ЮФУ является развитие фундаментальных и прикладных исследований в области разработки многофункциональной сенсорики на основе достижений микросистемной техники, внедрение результатов разработок в инновационные образовательные программы Южного федерального университета и подготовка на этой базе высококвалифицированных кадров в области создания мультисенсорных мониторинговых систем, разработка новых программ и методов, развивающих и объединяющих фундаментальные научные исследования и образовательный процесс, методическое обеспечение образовательного процесса, развитие международного сотрудничества.
Основными направлениями деятельности НОЦ МСТиМСМС ЮФУ являются:
– синтез нанокомпозитных неорганических, органических и гибридных материалов для сенсоров газов и фотоэлектрических преобразователей;
– разработка и создание высокочувствительных сенсоров газов и мультисенсорных устройств на их основе;
– формирование сегнетоэлектрических слоев на полупроводниковых подложках и изготовление электрических приборов на их основе;
– разработка и создание фотоэлектрических преобразователей;
– подготовка квалифицированных научных и научно-педагогических кадров в области разработки физико-технологических и физико-химических основ создания новых и совершенствования существующих материалов электронной техники, а также создания изделий микро- и наноэлектроники, твердотельной электроники, дискретных радиоэлектронных компонентов, микроэлектромеханических систем (МЭМС), приборов контроля состояния природной среды, веществ, материалов изделий.
С 2011г. НОЦ МСТиМСМС ЮФУ возглавляет д.т.н., профессор Петров В.В. В НОЦ работают опытные преподаватели и инженеры Варзарев Ю.Н., Нестеренко А.В.
Для выполнения научно-исследовательских работ и проектов обучающиеся трудоустраиваются в НОЦ на должности лаборантов, лаборантов-исследователей, инженеров-исследователей. За это время выполнено три Государственных контракта в рамках Федеральный целевых программ, три хозяйственных договора, восемь грантов РФФИ, один грант РНФ, ряд внутренних грантов ЮФУ. В 2023 г. выполняется работа по двум грантам РНФ.
Силами сотрудников НОЦ МСТиМСМС ЮФУ и студентов, работающих в нем, проведено шесть Всероссийских научных конференций и школ для молодых ученых (с международным участием) «Системы обеспечения техносферной безопасности»”.
С 2009 г. по настоящий день в рамках НОЦ подготовлен один доктор технических наук, более 10-ти кандидатов технических наук, один кандидат географических наук.
В рамках выполнения НИР и проектов проходили обучение, практику и получили необходимые практико-исследовательские навыки и компетенции более ста студентов, бакалавров, магистрантов и аспирантов кафедр ТБиХ, НТМСТ, КЭС ИНЭП, химического и физического факультета ЮФУ.
Сотрудники НОЦ МСТиМСМС ЮФУ (слева-направо): Коломыйцев К.В., Иванищева А.П,, Петров В.В., Гуляева И.А., Варзарев Ю.Н.
Фоточувствительные материалы и отклик фоторезистора на их основе
Сенсоры газа, изготовленные в НОЦ МСТиМСМС ЮФУ.
Контакты: +7(863) 218-40-00 доб. 30013; +7(8634) 68-08-90 доб. 30013
e-mail: vvpetrov@sfedu.ru