Агеев Олег Алексеевич

ageev

 

доктор технических наук, профессор

член-корреспондент РАН

 

 

 

 

 

Круг научных интересов связан с исследованием активируемых физико-химических процессов синтеза иерархическихнаноматериалов и наноструктур; разработкой и исследованием технологических процессов изготовления электроннойкомпонентной базы наноэлектроники, микро- и наносистемной техники; разработкой и исследованием технологических процессов формирования контактов к активным элементам приборов экстремальной электроники.

Основные научные результаты:

  • разработаны физико-технологические основы процессов создания наноструктур и элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами;
  • разработаны физические основы нанолитографии методами фотонностимулированного локального анодного окисления и фокусированных ионных пучков;
  • разработаны физико-технологические основы формирования контактов к интегральным структурам приборов экстремальной электроники на основе карбида кремния, методами импульсной термообработки и электронно-лучевой обработки.

Полученные научные результаты использованы при проведении более чем 50 НИОКР и внедрены на ряде ведущих предприятий, неоднократно представлялись на крупнейших выставках в России и за рубежом.

Является одним из создателей в 2007 году, в соответствии с адресной инвестиционной программой федеральной целевой программы “Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 – 2010 годы”, крупнейшего на Юге России научно-образовательного центра «Нанотехнологии» Южного федерального университета,входящего в Национальную нанотехнологическую сеть.

Является одним из руководителей ведущей научной школы Южного федерального университета «Сверхбольшие интегральные схемы и наноэлектроника: методы проектирования и технология».

Является автором более 300 научных работ, из них 166 статей в ведущих реферируемых журналах, 26 публикацийиндексируемых в базе данныхWebofScience, 52 публикации индексируемые в базе данных Scopus, 18учебно-методических работ и учебных пособий и 24 авторских свидетельств, патентов на изобретение и свидетельств о гос. регистрации программы для ЭВМ.

Основные публикации

2016

  • A. Ageev, M.S. Solodovnik, S.V. Balakirev, M.M. Eremenko Kinetic Monte Carlo simulation of GaAs(001) MBE growth considering the V/III flux ratio effect
    Journal of Vacuum Science & Technology B, vol. 34 (4), 041804 (2016), рр. 1-5
    DOI: 10.1116/1.4948514
  • В.И. Авилов, O.А. Агеев, Б.Г. Коноплев, В.А. Смирнов, М.С. Солодовник, О.Г. Цуканова Исследование фазового состава наноразмерных структур, полученных локальным анодным окислением пленок титана
    Физика и техника полупроводников, 2016, том 50, вып. 5, с. 612 – 618
  • О.А. Агеев, М.С. Солодовник, С.В. Балакирев, И.А. Михайлин Исследование влияния соотношения потоков V/III на процессы субмонослойной эпитаксии GaAs/GaAs(001) методом Монте-Карло
    Журнал технической физики, 2016, том 86, вып. 7, с. 15-21
  • О.А. Агеев, С.В. Балакирев, М.С. Солодовник, М.М. Еременко Влияние взаимодействия в системе Ga−As−O на морфологию поверхности GaAs при молекулярно-лучевой эпитаксии
    Физика твердого тела, 2016, том 58, вып. 5, с. 1011 – 1018
  • О.А. Агеев, Ю.Ф. Блинов, М.В. Ильина, О.И. Ильин, В.А. Смирнов, О.Г. Цуканова Исследование адгезии вертикально ориентированных углеродных нанотрубок кподложке методом атомно-силовой микроскопии
    Физика твердого тела, 2016, том 58, вып. 2, с. 301-306
  • Ageev O.A., Klimin V.S., Eskov A.V., Krasnoborodko S.Y. Study of etching mode in gallium arsenide in the combined capacitive and inductive plasma discharge Abstracts of “27th Symposium on Plasma Physics and Technology”, June 20–23, 2016, Czech Republic

2015

  • Alekseev, G.J Hedley, A. Al-Afeef, O.A Ageev, I. Samuel Morphology and local electrical properties of PTB7:PC71BM blends
    Journal of Materials Chemistry A,  2015, v. 3, pp. 8706-8714

DOI: 10.1039/C5TA01224D

  • A. Ageev A.S. Kolomiytsev A.V. Bykov V.A. Smirnov I.N. Kots Fabrication of advanced probes for atomic force microscopy using focused ion beam
    Microelectronics Reliability, Vol. 55, Is. 9–10, 2015, pp. 2131–2134

DOI:10.1016/j.microrel.2015.06.079

  • A. Ageev, Al. V. Bykov, A. S. Kolomiitsev, B. G. Konoplev, M. V. Rubashkina, V. A. Smirnov, O. G. Tsukanova Study of modification methods of probes for critical-dimension atomic-force microscopy by the deposition of carbon nanotubes
    Semiconductors, 2015, Vol. 49, No. 13, pp. 1743–1748

DOI: 10.1134/S1063782615130023

  • Р.В.Конакова, О.Б.Охрименко , А.М.Светличный, О.А.Агеев, Е.Ю.Волков, А.С.Коломийцев, И.Л.Житяев, О.Б.СпиридоновХарактеризация автоэмиссионных катодов на основе пленок графена на SiC
    Физика и техника полупроводников, 2015, том 49, вып. 9, с. 1278-1281
  • В.И. Авилов, О.А. Агеев, Ю.Ф. Блинов, Б.Г. Коноплев, В.В. Поляков, В.А. Смирнов, О.Г. Цуканова Моделирование процесса формирования оксидных наноразмерных структур методом локального анодного окисления поверхности металла
    Журнал технической физики, 2015, том 85, вып. 5, с. 88 – 93
  • Авилов В.И., Агеев О.А., Смирнов В.А., Солодовник М.С., Цуканова О.Г. Исследование режимов наноразмерного профилирования поверхности эпитаксиальных структур арсенида галлия методом локального анодного окисления
    Российские нанотехнологии. 2015. Т. 10. № 3-4. С. 42-46.
  • Агеев О.А., Ильин О.И., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А., Цуканова О.Г. Определение удельного сопротивления вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методами сканирующей зондовой микроскопии
    Журнал технической физики. 2015. Т. 85. № 7. С. 100-106.
  • Агеев О.А., Быков А.В., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Цуканова О.Г. Исследование методов модификации зондов для атомно-силовой микроскопии критических размеров осаждением углеродных нанотрубок
    Известия высших учебных заведений. Электроника. 2015. Т. 20. № 2. С. 127-136.
  • Агеев О.А., Достанко А.П., Замбург Е.Г., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Чередниченко Д.И. Влияние процессов в факеле при лазерной абляции на удельное сопротивление и морфологию нанокристаллических пленок ZnO
    Физика твердого тела. 2015. Т. 57. № 10. С. 2037-2042.
  • Агеев О.А., Блинов Ю.Ф., Ильин О.И., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. Исследование резистивного переключения вертикально ориентированной углеродной нанотрубки методами сканирующей зондовой микроскопии
    Физика твердого тела. 2015. Т. 57. № 4. С. 807-813.
  • Ageev O.A., GusevE.Yu., Kolomiytsev A.S., BykovAl.V. Fabrication of polycrystalline silicon elements for micro- and nanomechanical accelerometers Proceedings of the 2nd International Conference of Advanced Materials, Mechanical and Structural Engineering (AMMSE 2015), Je-ju Island, South Korea, September 18-20, 2015
  • O.A. Ageev, M.S. Solodovnik, S.V. Balakirev, M.M. Eremenko The Study of GaAs Native Oxide Influence on the GaAs Epitaxial Growth Proc. 31st North American Conference on Molecular Beam Epitaxy NAMBE-2015, Mexico, Mayan Riviera, 4-7 Oct 2015
  • Ageev O.A., Solodovnik M.S., Balakirev S.V., Mikhaylin I.A. Monte Carlo simulation of island formation during GaAs(001) homoepitaxial growth Proc. Fifth European Conference on Crystal Growth (ECCG5), Bologna, Italia, September 8-11, 2015

2014

  • Syurik, N. Alyabyeva, O.A. Ageev, A. Alekseev AFM-based model of percolation in graphene-based polymer nanocomposites AFM-based model of percolation in graphene-based polymer nanocomposites
    Composites Science and Technology, 2014, Vol. 95, pp 38–43

DOI:10.1016/j.compscitech.2014.02.006

  • I. Avilov, O.A. Ageev, A. S. Kolomiitsev, B. G. Konoplev, V. A. Smirnov, O. G. Tsukanova Formation of a Memristor Matrix Based on Titanium Oxide and Investigation by Probe Nanotechnology Methods
    Semiconductors, 2014, Vol. 48, No. 13, pp. 1757–1762

DOI: 10.1134/S1063782614130028

  • А.П. Достанко, О.А. Агеев, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, Е.Г. Замбург, Д.Е. Вакулов, З.Е. Вакулов Электрические и оптические свойства пленок оксида цинка, нанесенных методом ионно-лучевого распыления оксидной мишени
    Физика и техника полупроводников, 2014, том 48, вып. 9, с. 1274-1279
  • Достанко А.П., Агеев О.А., Джуплин В.Н., Замбург Е.Г., Вакулов Д.Е., Вакулов З.Е., Алексеев А.М., Голосов Д.А., Завадский С.М. Исследование влияния ионной стимуляции при импульсном лазерном осаждении на свойства нанокристаллических пленок оксида цинка
    Электронная обработка материалов, 2014, т. 50 №5, с. 1–6.
  • О.А.Агеев, А.М. Алексеев, А.В. Внукова, А.Л. Громов, А.С. Коломийцев, Б.Г. Коноплев Моделирование рельефа поверхности подложки при наноразмерном профилировании методом фокусированных ионных пучков
    Российские нанотехнологии, 2014, Т. 9, №1–2, С. 36-40
  • О.А. Агеев, А.В. Внукова, А.Л. Громов, О.И. Ильин, А.С. Коломийцев, Б.Г. Коноплев, С.А. Лисицын Исследование режимов наноразмерного профилирования при ионно-стимулированном осаждении W и Pt методом фокусированных ионных пучков
    Российские нанотехнологии, 2014, Т. 9, №3–4, С. 41-45
  • О.А. Агеев, А.М. Алексеев, А.В. Внукова, А.Л. Громов, А.С. Коломийцев, Б.Г. Коноплев, С.А. Лисицын Исследование разрешающей способности наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков
    Российские нанотехнологии, 2014, Т. 9, №1–2, С. 40-43
  • A. Ageev, Yu. F. Blinov, O. I. Ilin, M. V. Rubashkina, V. A. Smirnov, A. A. Fedotov Studying the Effect of Electric Field Strength on Resistive Switching of Vertically Aligned Carbon Nanotubes Proc. International Symposium “Physics and Mechanics of New Materials and Underwater Applications” (PHENMA 2014), KhonKaen, Thailand, March 27-29, 2014
  • Ageev O.A., Ilin O.I., Klimin V.S., Fedotov A.A. Investigation of influence of plasma power on the geometric parameters of carbon nanotubes formed by plasma enhanced chemical vapor deposition Proc. of “Plasma Physics and Technology 2014”, Prague, 2014, vol. 1, №2

2013

  • Syurik J., O.A. Ageev, Cherednichenko D.I., Konoplev B.G., Alexeev A. Non-linear conductivity dependence on temperature in graphene-based polymer nanocomposite
    Carbon, 2013, Vol. 63, рр. 317-323.

DOI:10.1016/j.carbon.2013.06.084

  • O.A. Ageev, V.A. Smirnov, M.S. Solodovnik, A.V. Rukomoikin, V.I. Avilov A study of the formation modes of nanosized oxide structures of gallium arsenide by local anodic oxidation
    Semiconductors, 2012, Vol. 46, Iss. 13, pp 1616-1621

DOI: 10.1134/S1063782612130027

  • О.А. Агеев, Ю.Ф. Блинов, О.И. Ильин, А.С. Коломийцев, Б.Г. Коноплев, М.В. Рубашкина, В.А. Смирнов, А.А. Федотов Мемристорный эффект на пучках вертикально ориентированных углеродных нанотрубок при исследовании методом сканирующей туннельной микроскопии
    Журнал технической физики, 2013, том 83, вып. 12, С. 128 – 133
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Рукомойкин А.В., Смирнов В.А., Солодовник М.С. Исследование влияния на модуль Юнга геометрических параметров ориентированных нитевидных нанокристалловGaAs методом атомно-силовой микроскопии
    Российские нанотехнологии. 2013. Т. 8. № 1-2. С. 27-32.
  • Ageev O.A., Zamburg E., Vakulov D., Vakulov Z., Venkatesan T. Creation of NO2, NH3 and CH4 gas sensors based on ZnO and VOxnanocrystalline films Abs. of 20th International Workshop on Oxide Electronics, 22-25 Sept. 2013, Singapore
  • M. Stepikhova, V. Shengurov, D. Pryakhin, Z. Krasilnik, V. Baryshev, N. Ginzburg, O.A. Ageev, A.S. Kolomiytsev The structures for laser realization on Si:Er basis: from the theory to technological tasks E-MRS Spring Meeting, Symposium J: Semiconductor Nanostructures towards Electronic and Optoelectronic Device Applications – IV, May 27-31, 2013, Strasbourg, France
  • O.A. Ageev,N.I.Alyabieva, Damien Mcgrouther, Ian Maclaren, Alessio Morelli, IonelaVrejiou Investigation of the Domain Structure Orientation of BiFeO3 by Piezoelectric Force Microscopy Proc. International Symposium “Physics and Mechanics of New Materials and Underwater Applications” (PHENMA 2013), Kaohsiung, Taiwan, Lune 5-8, 2013

2012

  • A. Alekseev, D. Chen, E. E. Tkalya, M. G. Ghislandi, Yu.V. Syurik, O. A. Ageev, J. Loos, G. De With Local organization of graphene network inside graphene/polymer composites
    Advanced functional materials, 2012, V.22, No.6, P.1311-1318

DOI:10.1002/adfm.201101796

  • Yu.V. Syurik, M. G. Ghislandi, E.E. Tkalya, G. Paterson, D McGrouther, O.A. Ageev, J. Loos Graphene network organisation in conductive polymer composites
    Macromolecular chemistry and physics, 2012, Vol. 213, Issue 12, pages 1251–1258.

DOI: 10.1002/macp.201200116

  • O.A. Ageev, A. S. Kolomiitsev, B. G. Konoplev Formation of Nanosize Structures on a Silicon Substrate by Method of Focused Ion Beams
    Semiconductors, 2011, Vol. 45, No. 13, pp. 89–92.

DOI: 10.1134/S1063782611130021

  • Агеев О.А., Ильин О.И., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. Определение геометрических параметров массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии
    Нано- и микросистемная техника. 2012. № 3. С. 9-13
  • Агеев О.А., Ильин О.И., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г., Рубашкина М.В., Смирнов В.А., Федотов А.А. Разработка методики определения модуля Юнга вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом наноиндентирования
    Российские нанотехнологии, №1-2, 2012, С. 54-59
  • О.А. Агеев, Б.Г. Коноплев, В.А. Смирнов, А.С. Коломийцев, Н.И. Сербу Модификация зондов для сканирующей зондовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков
    Микроэлектроника, 2012, том 41, № 1, с. 47–56

Монографии

  • Светличный А.М., Сеченов Д.А., Чередниченко Д.И., Соловьев С.И., Агеев О.А. Локальный лазерный нагрев кремниевых структур. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1999. 63 стр.
  • Сеченов Д.А., Касимов Ф.Д., Агаев Ф.Г., Светличный А.М., Агеев О.А. Активируемые процессы микроэлектронной технологии. Баку: Изд-во ЭЛМ, 2000. 258 стр.
  • Агеев О.А. Быстрая термообработка некогерентным ИК-излучением контактов к карбиду кремния. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2003. – 128 с.
  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Агеев О.А., Касимов Ф.Д., Кадымов Г.Г. Газочувствительные датчики на основе карбида кремния. Баку: Изд-во Мутарджим, 2004. 92 стр.
  • Агеев О.А., Достанко А.П., Толочко Н.К., Бордусов С.В. Интенсификация процессов формирования твердотельных структур концентрированными потоками энергии. – Минск: Бестпринт, 2005. 682 с. ISBN 985-6767-58
  • Агеев О.А. Проблемы технологии контактов к карбиду кремния. – Таганрог. Изд-во ТРТУ, 2005. – 250 с.
  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Конакова Р.В., Миленин В.В., Пилипенко В.А. Фазы внедрения в технологии полупроводниковых приборов и СБИС. Харьков: НТК “Институт монокристаллов”, 2008. – 392 с. ISBN 978-9666-02-4742-0
  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Киселев В.С., Конакова Р.В., Лебедев А.А., Миленин В.В., Охрименко О.Б., Поляков В.В., Светличный А.М., Чередниченко Д.И. Карбид кремния: технология, свойства, применение. Харьков: «ИСМА». 2010. – 532 с. ISBN 978-966-02-5445-9
  • O.A. Ageev, J. Syurik, A. Alexeev Graphene-based polymer nanocomposites:imaging of 3-D graphene network in a polymer matrix using SEM. In: Nano- and Piezoelectric Technologies, Materials and Devices, Ivan A. Parinov (Ed.): Nova Science Publishers, 2013. – pp. 193-21. ISBN: 978-1-62948-230-9
  • O.A. Ageev, S.V. Balakirev, Al.V. Bykov, E.Yu. Gusev, A.A. Fedotov, J.Y. Jityaeva, O.I. Il’in, M.V. Il’ina, A.S. Kolomiytsev, B.G. Konoplev, S.U. Krasnoborodko, V.V. Polyakov, V.A. Smirnov, M.S. Solodovnik, E.G. ZamburgDevelopment of new metamaterials for advancedelementbaseofmicro- andnanoelectronics, andmicrosystemdevices. In: Advanced Materials – Manufacturing, Physics, Mechanics and Applications. Parinov, Chang, Topolov (Eds.). SpringerInternationalPublishingSwitzerland, 2016, 702 p. – pp. 563-580. ISBN: 978-3-319-26324-3
  • А. П. Достанко, С.  М. Аваков, О. А. Агеев, М.П. Батура, С. В. Бордусов, Д. А. Голосов, В. Н. Джуплин, С. М. Завадский, О. В. Клим, В. Л. Ланин, С. И. Мадвейко, С. Н. Мельников, И. Б. Петухов, Г.Е. Ретюхин, В.А. Русецкий, Д.С. Титко, В. С. Томаль, Г.А. Трапашко, Д. И. Чередниченко, С. Б. Школык. Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники. – Минск: Белорусская наука, 2016. – 251 с. : ил. – ISBN 978-985-08-1993-2

Патенты:

  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Агеев О.А. Способ изготовления ИМС АС СССР № 1804241, 1991
  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Агеев О.А. Способ геттерирования структур ИМС. Патент РФ № 2029410, приоритет 08.07.91г.
  • Агеев О.А., Сюрик Ю.В. Способ изготовления композита полимер/углеродные нанотрубки.Патент РФ № 2400462 приоритет 9.04.2009г
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Сюрик Ю.В., Толстолуцкий С.И., Федотов А.А., Коломийцев А.С Структура маски рентгеновской литографии для LIGA-технологии. Патент РФ № 88187, приоритет 15.06.2009г.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Сюрик Ю.В. Способ изготовления полимерного композита с ориентированным массивом углеродных нанотрубок.Патент РФ № 2417891 приоритет 24.08.2009г
  • Агеев О.А., Джуплин В.Н., Коноплев Б.Г., Михайличенко А.В. Чувствительный элемент неохлаждаемого фотоприемника инфракрасного диапазона. Патент РФ № 87568, приоритет 18.05.2009 г.
  • О.А. Агеев, С.П. Авдеев, Е.Ю. Гусев, Б.Г. Коноплев, А.М. Светличный, Д.И. Чередниченко Способ подготовки поверхности бинарных и многокомпонент-ных материалов.Патент на изобретение РФ № 2380109 приоритет 07.04.2008г.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Солодовник М.С., Рукомойкин А.В. Элемент памяти динамического оперативного запоминающего устройства. Патент RUS 110866приоритет 07.07.2011
  • Агеев О.А., Джуплин В.Н., Коноплев Б.Г., Михайличенко А.В. Чувствительный элемент неохлаждаемого фотоприемника инфракрасного диапазона. Патент РФ № 102847 приоритет 25.10.2010г
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Сюрик Ю.В. Датчик магнитного поля. Патент № 102813, приоритет 24.05.2010г
  • Агеев О.А., Ильин О.И., Климин В.С., Коломийцев А.С., Коноплев Б.Г. Способ создания наноструктур на основе нанотрубок. Патент №  2431597 приоритет 10.05.2011
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Сюрик Ю.В. Способ изготовления полимерного композита с ориентированным массивом углеродных нанотрубок с регулируемой плотностью. Патент № 2478563 приоритет 24.08.2009г
  • Агеев О.А., Ильин О.И., Климин В.С., Коломийцев А.С., Федотов А.А. Ионизационный газовый сенсор на основе углеродных нанотрубок. Патент №   144097 приоритет 24.12.2013
  • Агеев О.А., Вакулов Д.Е., Вакулов З.Е., Замбург Е.Г., Ивонин М.Н., Коноплев Б.Г., Шумов А.В. Газовый сенсор на основе гибридных наноматериалов. Патент RUS 133312 приоритет 09.04.2013
  • Агеев О.А., Смирнов В.А., Авилов В.И. Элемент памяти на основе мемристорныхнаноструктур. Патент №148262 приоритет 27.03.2014
  • Агеев О.А., Алябьева Н.И., Коломийцев А.С., Солодовник М.С. Зонд для атомно-силовой микроскопии высокого разрешения. Патент №146081 приоритет 12.05.2014
  • Громов А.С., Агеев О.А., Коломийцев А.С. Комплекс программного обеспечения для создания растровых шаблонов для безмасочного формирования структур методом ФИП. Свидетельство о гос. регистрации программы для ЭВМ №2014619279 приоритет 12.05.2014
  • Громов А.С., Агеев О.А., Коломийцев А.С. Создание шаблонов для формирования элементов автоэмиссионной наноэлектроники методом ФИП. Свидетельство о гос. регистрации программы для ЭВМ № 2015610512, приоритет 13.01.2015
  • Авилов В.И., Агеев О.А., Смирнов В.А. Элемент памяти на основе наноразмерной структуры. Патент № 159171, приоритет 05.08.2015
  • Агеев О.А., Блинов Ю.Ф., Рубашкина М.В., Смирнов В.А. Элемент памяти на основе вертикально ориентированных углеродных нанотрубок. Патент № 160315, приоритет 05.05.2015
  • Громов А.С., Агеев О.А., Коломийцев А.С. Расчет и визуализация двумерного профиля подложки при травлении методом ФИП. Свидетельство о гос. регистрации программы для ЭВМ № 2016612143, приоритет 18.02.2016

Методические разработки

  • О.А. Агеев, О.И. Ильин, В.С. Климин, А.А. Федотов, “Конструкция и принципы работы установки плазмохимического осаждения углеродных нанотрубок”, Учебно-методическое пособие, Таганрог, 2014
  • Агеев О.А., Федотов А.А., Смирнов В.А. Методы формирования структур элементов наноэлектроники и наносистемной техники: Учебное пособие. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. – 72 с.
  • Агеев О.А., Коломийцев А.С., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к вы-полнению лабораторных работ с использованием многофункционального на-нотехнологического комплекса НАНОФАБ. Ч. I.. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2009, 40 стр.
  • Агеев О.А., Коломийцев А.С., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к вы-полнению лабораторных работ с использованием многофункционального на-нотехнологического комплекса НАНОФАБ. Ч. II. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2009, 40 стр.
  • Агеев О.А., Гусев Е.Ю., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к выполне-нию лабораторной работы “Изучение поверхности твердых тел методом атом-но-силовой микроскопии на СЗМ NanoEducator”, Ч.1. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2007, 38 стр.
  • Агеев О.А., Гусев Е.Ю., Смирнов В.А., Федотов А.А. Руководство к выполне-нию лабораторной работы “Исследование поверхности твердых тел методом сканирующей туннельной микроскопии на СЗМ NanoEducator”, Ч.2. Таганрог, ТТИ ЮФУ, 2007, 38 стр.
  • Агеев О.А., Мамиконова В.М., Петров В.В., Котов В.Н., Негоденко О.Н. Микроэлектронные преобразователи неэлектрических величин: Учебное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. 153 с.
  • Сеченов Д.А., Агеев О.А. Руководство для практических занятий по курсу «Физические основы микроэлектроники». – Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1998. – 74 с.
  • Светличный А.М., Агеев О.А., Поляков В.В., Соловьев С.И. Руководство к ла-бораторным работам по курсам: “Специальные вопросы технологии РЭА”, “Технология БИС и БГИС”, “Технология ППП и ИС”, ч.2 (руководство)
  • Ягупов А.Е., Агеев О.А. Учебно-Методическое пособие по курсу ‘Технико-экономическое проектирование’ (учебное пособие) Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1998. -84 с.
  • Агеев О.А., Сеченов Д.А., Светличный А.М. Руководство к лабораторным ра-ботам по курсам “Технология полупроводниковых приборов”, “Технологические процессы микроэлектроники” (руководство) Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1998. -25 с.

Награды, дипломы:

  • Звание «Почетный работник высшего профессионального образования РФ» (2011 г.).
  • Грамоты за руководство научно-исследовательской работой студентов: 2001 г. – Министерства образования РФ; 2007 г. – Министерства образования и науки РФ, 2005 г. – Северокавказского научного центра высшей школы.
  • Серебряная и бронзовая медали Международного Салона «Изобретения Женева» (г. Женева, Швейцария, 2012 г.);
  • Серебряная медаль IX Международного Салона Инноваций и Инвестиций (Москва, 2009 г.);
  • Диплом победителя конкурса NationalInstruments (2008 г.);
  • Диплом победителя конкурса GlobalEducation (2012 г.).

Под руководством Агеева О.А. студентами и аспирантами получено 4 медали конкурсов Министерства образования и науки РФ, более 35 дипломов и грамот за научно-исследовательскую работу международных, всероссийских и региональных конкурсов.

Членство в научных сообществах

  • Российская Академия Наук (член-корреспондент);
  • Российская Академия Естествознания (член-корреспондент);
  • Академия Инженерных Наук Российской Федерации (член-корреспондент);
  • Российская Инженерная Академия (академический советник);
  • Нанотехнологическое общество России;
  • Российское Научно-Техническое Вакуумное Общество;
  • European Focused Ion Beam Users Group (Бельгия);
  • AmericanVacuumSociety (USA).

Кандидаты технических наук, подготовленные Агеевым О.А. в качестве научного руководителя:

  • 2007г. ФЕДОТОВ А.А. Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологии их изготовления.
  • 2009г. ГУСЕВ Е.Ю. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур.
  • 2011г. МИХАЙЛИЧЕНКО А.В. Разработка технологических основ создания наноструктурированных пленок оксидов ванадия методом импульсного лазерного осаждения и приборов на их основе.
  • 2011г. КОЛОМИЙЦЕВ А.С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур.
  • 2012г. СЮРИК Ю.В.Разработка и исследование технологических основ создания пленок полимерных нанокомпозитов с углеродными наноструктурами для устройств микроэлектронной сенсорики.
  • 2013г. СОЛОДОВНИК М.С. Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктур на основе арсенида галлия методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники.
  • 2013г. КЛИМИН В.С. Разработка и исследование технологических основ создания массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок для устройств микроэлектронной сенсорики.
  • 2014г. АЛЯБЬЕВА Н.И.Разработка и исследование технологических основ формирования наноразмерных планарных структур на основе пленок BiFeO3 для устройств обработки и хранения информации.
  • 2015г. ЗАМБУРГ Е.Г. Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктурированныхпленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения для чувствительных элементов газовых сенсоров.
  • 2015г. ИЛЬИН О.И. Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов газовых сенсоров.
  • 2016г. ЧИНЬ ВАН МЫОЙ Разработка и исследование технологических основ создания углеродных наноструктур для чувствительных элементов сенсоров газов сорбционного типа.
  • 2016г. ИЛЬИНА М.В. Разработка и исследование конструктивно-технологических основ создания мемристорныхстуктур на вертикально ориентированных углеродных нанотрубках