Главная › Кафедры › Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники (НТ МСТ) › Преподаватели › Светличный Александр Михайлович

Светличный Александр Михайлович

svitlichny

 

кандидат технических наук, доцент

 

 

 

 

Руководит на кафедре научным направлением – разработка активированных технологических процессов микро- и наноэлектроники с использованием фотонных потоков, электронно-лучевой обработки и импульсной обработки некогерентным излучением. Области научных интересов – дефекты кристаллической структуры полупроводников и их влияние на параметры приборов; контроль качества технологических процессов изготовления интегральных микросхем по шумовым характеристикам; разработка оборудования и технологических процессов изготовления интегральных микросхем на основе когерентных (лазерных) и некогерентных источников излучения; теория процессов взаимодействия мощных импульсных световых потоков с полупроводниковыми структурами на основе кремния и карбида кремния; влияние световых потоков на биологические объекты.

Им выполнено в качестве исполнителя, ответственного исполнителя, заместителя научного руководителя и руководителя более 20 хоздоговорных и госбюджетных НИР. Под его руководством на основе некогерентных источников излучения разработаны технологические установки импульсной термообработки ИТО-10, ИТО-18, ИТО-18М, ИТО-18МВ; установки контроля качества технологического процесса изготовления микросхем ИШТ-1 и ИШТ-2; стерилизатор медицинского инструмента ИС-6, светомагнитный биостимулятор СМТ-1. За разработку и внедрение установок награжден двумя медалями ВДНХ. Опубликовал 120 научных работ. Имеет 24 авторских свидетельства и патенты на изобретения.

Основные публикации

  • Светличный А.М., Сеченов Д.А., Агеев О.А., Чередниченко Д.И., Соловьев С.И. Локальный лазерный нагрев кремниевых структур – Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1999. – 63 с.
  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Поляков В.В. Фотостимулированные технологические процессы в кремниевых структурах. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2002. – 103 с.
  • Сеченов Д.А., Агеев О.А., Светличный А.М., Касимов Ф.Д., Кадымов Г.Г. Газочувствительные датчики на основе карбида кремния – Баку: Изд-во Мутарджим, 2004. – 92 с.
  • Достанко А.П., Агеев О.А, Светличный А.М. и др. Интенсификация процессов формирования твердотельных структур концентрированными потоками энергии. Минск: Бестпринт, 2005.
  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Поляков В.В. и др. Вакуумная установка импульсной термической обработки ИТО-18МВ// Электронная промышленность. – №5, 1991 г. – С.6-7.
  • Светличный А.М., Поляков В.В., Варзарев Ю.Н. Формирование пленок диоксида кремния фотохимическим разложением тетраэтоксисилана// Микроэлектроника, 2001, т.30, №1 – С. 21-31.
  • A.M. Svetlichnyi, V.V. Polyakov, A.N. Kocherov. Modeling of silicon carbide oxidation process under simultaneous influence of infrared and ultraviolet exposure// Abstract IV International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials. ISSCRM-2002 – Novgorod the Great, Russia 30-31 May – 2002 – p.78.
  • Светличный А.М, Конакова Р.В., Поляков В.В. и др. Морфология и оптические свойства оксидных пленок гадолиния, титана и эрбия на поверхности n-6HsiC// Вестник Новгородского государственного университета, сер. “Технические науки”. – №30, 2005г. – С.105-109.
  • Agueev O.A., Svetlichny A.M., Soloviev S.I. Simulation of incoherent radiation absorption in 3C-, 6H- and 4H-SiC at rapid thermal processing // Semiconductor Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics. 2000, v.3, no.3, p.379-382.
  • Litvinov V.L., Demakov K.D., Agueev O.A., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Lytvyn O.S., Milenin V.V. Evolution of structural and electrophysical parameters of Ni/SiC contacts at rapid thermal annealing // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics, 2002, vol. 5, №4, p. 457 ? 464.
  • Agueev O.A., Avdeev S.P., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Milenin V.V., Lytvyn P.M., Lytvyn O.S., Okhrimenko O.B., Soloviev S.I., Sudarshan T.S. Surface preparation of 6H-SiC substrates by electron beam annealing // Materials Science Forum, vol. 483-485 (2005), p. 725 ? 728.
  • Litvinov V.L., Demakov K.D., Agueev O.A., Svetlichnyi A.M., Konakova R.V., Lytvyn P.M., Milenin V.V. Investigation of the Effect of Rapid Thermal Annealing Modes on the Parameters of Ni/21R-SiC Contact // Materials Science Forum, vol. 389-393 (2002), p. 905 ? 909.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Зондовая фотонно-стимулированная нанолитография структур на основе пленки титана // Микроэлектроника, Том 36, № 6, 2007. – С. 403-408
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Исследование режимов фотонностимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №1. – С. 1-3.
  • Березовская Н.И., Бачериков Ю.Ю., Конакова Р.В., Охрименко О.Б., Литвин О.С., Линец Л.Г., Светличный А.М. Характеризация пористого карбида кремния по спектрам поглощения и фотолюминесценции
    Физика и техника полупроводников. 2014. Т. 48. № 8. С. 1055-1058.
  • Конакова Р.В., Коломыс А.Ф., Охрименко О.Б., Стрельчук В.В., Волков Е.Ю., Григорьев М.Н., Светличный А.М., Спиридонов О.Б. Сравнительные характеристики спектров комбинационного рассеяния света пленок графена на проводящих и полуизолирующих подложках 6h-sic Физика и техника полупроводников. 2013. Т. 47. № 6. С. 802-804.
  • Светличный А.М., Григорьев М.Н., Светличная Л.А., Демьяненко М.В., Житяев И.Л. Газочувствительность пленок графена на полуизолирующем SIC к NO2 и парам C2H5OH Инженерный вестник Дона. 2013. Т. 25. № 2 (25). С. 66.

Методические разработки

  • Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу “Технология радиоэлектронных средств”. Из-во ТРТУ, 2003.
  • Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу “Технологические процессы микроэлектроники”. Таганрог: ТРТУ, 2002, – 54 с.
  • Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу “Технология радиоэлектронных средств”, Ч.1. Таганрог:Изда-во ТРТУ, 2004. – 57 с.
  • Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу “Технология микросистем”. Из-во ТРТУ, 2004.
  • Авдеев С.П., Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу «Специальные вопросы технологии радиоэлектронных средств». – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2007. – 55 с.
  • Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу «Технологические процессы микро- и наноэлектроники». Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2008. – 48 с.

Читаемые курсы

  • Процессы микро- и нанотехнологии
  • Плазменные и лучевые процессы нанотехнологии