24.12.2014
Сведения о ходе выполнения прикладных научных исследований в ЮФУ
Сведения о ходе выполнения прикладных научных исследований по теме: “Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем”. В ходе выполнения проекта по соглашению о предоставлении субсидии от 30 июня 2014 г. № 14.575.21.0045 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы» на этапе № 1 в период с 30.06.2014 г. по 30.12.2014 г. выполнены следующие работы: – проведены патентные исследования; – обосновано и выбрано направление исследований многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров; – разработан перечень технологических операций и обоснование необходимого технологического оборудования для изготовления многоосевых интегральных сенсоров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки; – разработаны математические модели многоосевых интегральных сенсоров; – разработана методика моделирования многоосевых интегральных сенсоров; – разработана методика изготовления экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов. Новизна полученных результатов заключается в решении проблемы повышения функциональных возможностей микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров посредством использования принципа функциональной интеграции. Данный подход обеспечивает повышение функциональных возможностей микро- и наномеханических сенсоров и по результатам теоретических исследований позволит регистрировать угловые скорости и линейные ускорения по нескольким осям чувствительности. Полученные результаты: – полностью соответствуют требованиям технического задания; – соответствуют мировому уровню, а по некоторым пунктам превосходят его. Уникальный идентификатор – RFMEFIBBB14X0217 Информация о работе доступна здесь