Тема: «Разработка методов проектирования и создания перспективных многоосевых интегральных микро-и наномеханических гироскопов и акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки для микрооптоэлектромеханических систем».
Уникальный идентификатор – RFMEFI 57514X0045
В ходе выполнения проекта по Соглашению о предоставлении субсидии от 30 июня 2014 г. No 14.575.21.0045 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы» на этапе No 5 в период с 01.07.2016 г. по 31.12.2016 г. выполнены следующие работы и получены результаты:
– проведены испытания экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов;
– проведены испытания экспериментальных образцов многоосевых микромеханических акселерометров;
– проведены испытания экспериментальных образцов многоосевых наномеханических акселерометров;
– проведены испытания макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов;
– проведены испытания макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических акселерометров;
– проведены испытания макетов устройств обработки сигналов многоосевых наномеханических акселерометров;
– проверена возможность взаимодействия экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов, микро-и наномеханических акселерометров и макетов устройств обработки сигналов многоосевых микромеханических гироскопов, микро-и наномеханических акселерометров;
– разработан лабораторный технологический регламент по изготовлению экспериментальных образцов многоосевых микромеханических гироскопов с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки;
– разработан лабораторный технологический регламент по изготовлению экспериментальных образцов многоосевых микромеханических акселерометров с использованием плазменных и
лазерных технологий поверхностной микрообработки;
– лабораторный технологический регламент по изготовлению экспериментальных образцов многоосевых наномеханических акселерометров с использованием плазменных и лазерных технологий поверхностной микрообработки;
– разработаны рекомендации по созданию перспективной элементной базы микрооптомеханических систем;
– проведена оценка эффективности полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем;
– разработан проект технического задания на проведение ОКР;
– приобретено технологическое и/или контрольно-измерительное оборудование, материалы и комплектующие, необходимые для испытания экспериментальных образцов многоосевых микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров.
Новизна полученных результатов заключается в решении проблемы повышения функциональных возможностей микро- и наномеханических гироскопов и акселерометров посредством использования принципа функциональной интеграции. Данный подход обеспечивает повышение функциональных возможностей микро-и наномеханических сенсоров и по результатам теоретических исследований позволит регистрировать угловые скорости и линейные ускорения по нескольким осям чувствительности.
Полученные результаты:
– полностью соответствуют требованиям технического задания;
– соответствуют мировому уровню, а по некоторым пунктам превосходят его.