кандидат технических наук, доцент
Область научных интересов – вакуумная техника и вакуумные технологические процессы (осаждение материалов, получение тонких и толстых плёнок различных материалов, модификация поверхности); взаимодействие электронного пучка с рельефными и гладкими поверхностями полупроводников и диэлектриков; применение электронного луча в производстве оптических, электронных, микроэлектронных и других видов приборов; синтез стеклообразных пленок золь-гель методом; технология полупроводниковых материалов. Проектирование и конструирование вакуумного оборудования для электронно-лучевой обработки поверхности материалов и элементов приборов. Разработка технологических процессов электронно-лучевой обработки элементов прибора с целью получения определенных характеристик данного прибора.
Опубликовано более 60 научных работ, получено авторское свидетельство на устройство электронно-лучевой обработки материалов.
Основные публикации
- Свойства наноразмерных пленок оксида алюминия, полученных золь-гель методом при тепловом и электронно-лучевом отжиге
Луговой Е.В., Авдеев С.П., Серба П.В., Рубашкина М.В., Ткачук В.В.
Наноматериалы и наноструктуры – XXI век. 2013. Т. 4. № 2. С. 030-035. - Влияние электронно-лучевой обработки на элементный состав цинково-алюмофосфатного стекла
Авдеев С.П., Гаранжа С.Н.
Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. 2012. Т. 12. № -2. С. 26-27. - О влиянии электронно-лучевой обработки на поверхность диэлектрических пленок на основе Al2O3
Авдеев С.П., Луговой Е.В., Серба П.В.
Известия ЮФУ. Технические науки. 2011. № 4 (117). С. 94-98. - Повышение механической и химической устойчивости поверхности оптического стекла боролантановой группы
Авдеев С.П., Петров С.Н., Серба П.В., Гусев Е.Ю.
Прикладная физика. 2010. № 3. С. 140-142. - Электролитическое анодирование полупроводников типа AIIIBV, имплантированных вентильными металлами
Милешко Л.П., Авдеев С.П., Никитенко В.А.
Физика и химия обработки материалов. 2008. № 1. С. 55-59. - Влияние электронно-лучевой обработки на параметры фотоэмитирующих структур и фактор шума мкп
Авдеев С.П., Кравченко А.А., Гусев Е.Ю.
Прикладная физика. 2007. № 3. С. 67-73. - Применение финишной электронно-лучевой обработки для получения полупроводниковых и диэлектрических подложек для микро- и нанотехнологий
Агеев О.А., Авдеев С.П., Чередниченко Д.И., Гусев Е.Ю.
Известия ЮФУ. Технические науки. 2006. № 9-1 (64). С. 116. - Особенности распределения электрически активного фосфора в кремнии при диффузии из анодной оксидной пленки в условиях быстрой термической обработки. Милешко Л.П., Варзарёв Ю.Н., Авдеев С.П.
Известия высших учебных заведений. Электроника. 2004. № 6. С. 90-92. - S.P. Avdeev, O.A. Agueev, R.V. Konakova, Ya.Ya. Kudryk, O.S. Lytvyn, P.M. Lytvyn, V.V.Milenin, D.A. Sechenov, A.M. Svetlichny, S.I. Soloviev, T.S. Sudarshan Effect of pulse thermal treatments on the Ni(Ti)/n-21R(6H)-SiC contact parameters.// Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. 2004. V. 7, N 3. P. 272-278.
- Авдеев С.П., Милешко Л.П. Музыков П.Г. Чередниченко Д.И. Перспективы применения электронно-лучевой обработки для модификации золь-гельных пленок легированного диоксида кремния. //Физика и химия обработки материалов. 1998, №2, с.77-83.
Методические разработки
- Авдеев С.П., Милешко Л.П., Гапоненко Н.В. Руководство к лабораторной работе «Эллипсометрическое исследование электронно-лучевой модификации золь-гельных пленок диоксида кремния по курсу «Физико-химические основы конструирования и технологии электронных средств». Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2001. – 24 с.
- Авдеев С.П., Наумченко А.С., Светличный А.М. Руководство к лабораторным работам по курсу «Специальные вопросы технологии радиоэлектронных средств». – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2007. – 55 с.
- С.П. Авдеев, С.П. Мирошниченко. Конспект лекций по курсу «Технология материалов и изделий электронной техники». Таганрог: Изд-во ЮФУ, 2013, 84 с.
Читаемые дисциплины:
- Материалы электронной техники
- Технология производства электронных средств
- Технология выращивания кристаллов