Главная › Кафедры › Кафедра нанотехнологий и микросистемной техники (НТ МСТ) › Преподаватели › Поляков Вадим Витальевич

Поляков Вадим Витальевич

polyakov

 

 

кандидат технических наук, доцент

 

 

 

 

 

Область научных интересов – технология микро- и наноэлектроники.

В качестве руководителя и ответственного исполнителя за последние 10 лет выполнено НИОКР на сумму более 80 млн.руб., результаты которых внедрены в производство и широко используются в учебном процессе. При непосредственном участии Полякова В.В. в 2006-2010 г.г. в рамках Федеральных целевых программ «Образование» и «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации» создан и оборудован крупнейший на Юге России научно-образовательный центр «Нанотехнологии», а также центр коллективного пользования «Нанотехнологии».

В 2002-2013гг. Поляков В.В. руководил научно-исследовательской работой на факультете как заместитель декана факультета электроники и приборостроения по научной работе. Является руководителем центра коллективного пользования «Нанотехнологии» ЮФУ. В 2011 году присвоено звание «Почетный работник высшего профессионального образования Российской Федерации».

С  ноября 2013 г. по июнь 2017 г.  – заведующий кафедрой нанотехнологий и микросистемной техники.

Опубликовано более 80 научных работ (в том числе 4 монографии и 8 патентов на изобретения).

Основные публикации

  • Авилов В.И., Агеев О.А., Блинов Ю.Ф., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Смирнов В.А., Цуканова О.Г. Моделирование процесса формирования оксидных наноразмерных структур методом локального анодного окисления поверхности металла
    Журнал технической физики. 2015. Т. 85. № 5. С. 88-93.
  • Агеев О.А., Достанко А.П., Замбург Е.Г., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Чередниченко Д.И. Влияние процессов в факеле при лазерной абляции на удельное сопротивление и морфологию нанокристаллических пленок ZNO Физика твердого тела. 2015. Т. 57. № 10. С. 2037-2042.
  • Avilov V.I., Ageev O.A., Blinov Y.F., Konoplev B.G., Polyakov V.V., Smirnov V.A., Tsukanova O.G. Simulation of the formation of nanosize oxide structures by local anode oxidation of the metal surface Technical Physics. The Russian Journal of Applied Physics. 2015. Т. 60. № 5. С. 717-723.
  • Поляков В.В. Технологические аспекты и конструктивные особенности гибридных сенсорных систем Известия ЮФУ. Технические науки. 2014. № 9 (158). С. 7-14.
  • Поляков В.В., Смирнов В.А., Рубашкина М.В. Исследование параметров биологических объектов методом атомно-силовой микроскопии Известия ЮФУ. Технические науки. 2011. № 4 (117). С. 193-198.
  • O.A. Ageev, N.I. Alyab’eva, B.G. Konoplev, V.V.Polyakov, V.A. Smirnov // Photoactivation of the processes of formation of nanostructures by local anodic oxidation of a titanium film/ – Semiconductors, Vol. 44, № 13, 2010 – Р.1703-1708.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Исследование режимов фотонностимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. – 2008. – №1. – С. 1-3.
  • A.M. Svetlichnyi, V.V. Polyakov, A.N. Kocherov. Modeling of silicon carbide oxidation process under simultaneous influence of infrared and ultraviolet exposure// Abstract IV International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials. ISSCRM-2002 – Novgorod the Great, Russia 30-31 May – 2002 – p.78.
  • Агеев О.А., Коноплев Б.Г., Поляков В.В., Светличный А.М., Смирнов В.А. Зондовая фотонно-стимулированная нанолитография структур на основе пленки титана // Микроэлектроника, Т. 36, №6, 2007. – С. 403-408
  • Yu. Yu. Bacherikov, N. L. Dmitruk, R. V. Konakova, O. S. Kondratenko, O. S. Lytvyn, V. V. Milenin, O. B. Okhrimenko, L. M. Kapitanchuk, A. M. Svetlichnyi, V. V. Polyakov and A. A. Shelcunov // Effect of rapid thermal annealing on the properties of thin dielectric films of gadolinium, titanium, and erbium oxides on the silicon carbide surface. – Journal of Technical Physics, – Volume 52, Number 2, February, 2007. – Р. 253-257.
  • Polyakov V.V. Development and study of silicon dioxide nanostructured films forming on semiconductor structures surface. In book Advanced nano- and piezoelectric materials and their applications, editor Ivan A. Parinov – Nova Science Publishers, New York, USA, 2014. – P.19-60.
  • Сеченов Д.А., Светличный А.М., Поляков В.В. Фотостимулированные технологические процессы в кремниевых структурах. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2002. – 103 с.
  • Фотостимулированные процессы окисления карбида кремния. // Касимов Ф.Д., Гусейнов Я.Ю., Светличный А.М., Поляков В.В., Кочеров А.Н. Изд.-во Мутарджим, Баку, 2005г. – 84 с.
  • Агеев О.А., Беляев А.Е., Болтовец Н.С., Киселев В.С., Конакова Р.В., Лебедев А.А., Миленин В.В., Охрименко О.Б., Поляков В.В., Светличный А.М., Чередниченко Д.И. Карбид кремния: технология, свойства, применение/Под общей редакцией член-корр. НАНУ, д.ф.-м.н., проф. А.Е. Беляева и д.т.н., проф. Р.В. Конаковой. – Харьков: НТК «Институт монокристаллов». Изд-во «ИСМА», 2010. – 532 с.
  • Скубилин М.Д., Поляков В.В., Спиридонов Б.Г. Электронная техника: Производство, применение. – Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ, 2010. – 320 с.

Методические разработки

  • Ю.И. Молчанов, В.В. Поляков Методическое пособие по оформлению технологических документов. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 1999. 34 с.
  • В.В. Поляков, С.П. Мирошниченко Методическое пособие по курсу “Бытовая электроника”. Основы ксерокопирования. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. 40 с.
  • С.П. Мирошниченко, В.В. Поляков Методическое пособие по курсу “Бытовая электроника”. Микроволновые печи. Таганрог: Изд – во ТРТУ, 2000. 38с.
  • С.П. Мирошниченко, В.В. Поляков Методическое пособие по курсу “Персональная электроника” Источники бесперебойного питания. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2003, 32c.
  • Иванцов В.В., Поляков В.В. Методическое пособие “Выпускная работа бакалавра техники и технологии. Общие требования к содержанию и оформлению”. – Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2005. – 36 с.
  • Серба П.В., Поляков В.В., Смирнов В.А. Методическое пособие по дипломному проектированию. – Таганрог: ТТИ ЮФУ, 2010. 43 с. (электронное издание)

Читаемые курсы

  • Физические основы микро- и наносистемной техники
  • Биомедицинские нанотехнологии
  • Компоненты микросистемной техники