Агеев Олег Алексеевич

Член-корреспондент Российской Академии Наук

доктор технических наук, профессор

Область научных интересов

разработка активируемых физико-химических процессов синтеза иерархических наноматериалов и наноструктур; разработкой и исследованием технологических процессов изготовления электронной компонентной базы наноэлектроники, микро- и наносистемной техники; разработкой и исследованием технологических процессов формирования контактов к активным элементам приборов экстремальной электроники.

Основные научные достижения

– разработаны физико-технологические основы формирования термически-стабильных контактов к структурам ИМС на карбиде кремния методами импульсной термообработки;

– разработаны основы технологии электронно-лучевой обработки и получения epi-ready поверхности монокристаллических подложек широкозонных полупроводниковых материалов;

– разработаны физико-технологические основы создания элементной базы нейроморфных систем методом зондовой нанолитографии;

– разработаны технологические основы формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для устройств микроэлектронной сенсорики;

– установлены закономерности и механизм пьезоэлектрического эффекта в неравномерно деформированных углеродных нанотрубках;

– разработаны технологические основы формирования наноструктурированных пленок методом импульсного лазерного осаждения для чувствительных элементов газовых сенсоров и пьезоэлектрических преобразователей;

– разработан способ создания матричных пьезоэлектрических микроэлектромеханических ультразвуковых сенсоров;

– разработаны технологические основы создания элементной базы микро- и наносистемной техники методом фокусированных ионных пучков;

– разработаны технологические основы синтеза пленок углеродных нанокомпозитов для устройств микроэлектронной сенсорики;

– разработаны технологические основы формирования наноструктур А3В5 методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники.

Полученные научные результаты использованы при проведении более чем 70 НИОКР и внедрены на ряде ведущих научных организаций и промышленных предприятий Российской Федерации.

Является автором более 450 научных работ, из них 16 монографий, более 250 статей в ведущих реферируемых изданиях, 47 авторских свидетельств, патентов на изобретение и свидетельств о гос. регистрации программы для ЭВМ

Вклад в решение общегосударственных задач

Учебно-методический комплекс «Лучевые и плазменные методы формирования наноструктур интегральной электроники», разработанного по заказу ГК «РОСНАНОТЕХ» в рамках реализации инвестиционных проектов в области проектирования и производства СБИС с топологическими нормами 90 нм.

Один из создателей и руководитель, созданного в соответствии с адресной инвестиционной программой ФЦП “Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации”, крупнейшего на Юге России научно-образовательного центра «Нанотехнологии» Южного федерального университета, входящего в Национальную нанотехнологическую сеть.

Один из создателей и руководителей ведущей научной школы «Сверхбольшие интегральные схемы и наноэлектроника: методы проектирования и технология» Южного федерального университета.

Награды, дипломы:

Почетная грамота Президента Российской Федерации (2024 г.)
Заслуженный работник высшей школы Российской Федерации (2018 г.)
Почетный работник высшего профессионального образования РФ (2011 г.).
Серебряная и бронзовая медали Международного Салона «Inventions Geneva» (2012 г.);
Серебряная медаль IX Международного Салона Инноваций и Инвестиций (2009 г.);
Диплом победителя конкурса National Instruments (2008 г.);
Диплом победителя конкурса Global Education (2012 г.).

Под руководством Агеева О.А. студентами и аспирантами получено 4 медали конкурсов Министерства образования и науки РФ, более 35 дипломов и грамот за научно-исследовательскую работу международных, всероссийских и региональных конкурсов.

Членство в научных сообществах

Российская Академия Наук (член-корреспондент);
Академия Инженерных Наук им. А.М. Прохорова (академик);
Российская Академия Естествознания (член-корреспондент);
Российская Инженерная Академия (академический советник);
Нанотехнологическое общество России;
Российское Научно-Техническое Вакуумное Общество;
European Focused Ion Beam Users Group (Бельгия);
American Vacuum Society (USA).

Сведения о подготовке научных кадров

В качестве научного руководителя и консультанта подготовил 19 кандидатов технических наук и одного доктора физико-математических наук:

2007г. ФЕДОТОВ А.А. Разработка элементов наносистемной техники на основе углеродных нанотрубок и технологии их изготовления.
2009г. ГУСЕВ Е.Ю. Разработка технологических основ электронно-лучевого формирования поверхности монокристаллических подложек SiC для создания микро- и наноструктур.

2011г. МИХАЙЛИЧЕНКО А.В. Разработка технологических основ создания наноструктурированных пленок оксидов ванадия методом импульсного лазерного осаждения и приборов на их основе.
2011г. КОЛОМИЙЦЕВ А.С. Разработка технологических основ субмикронного профилирования поверхности подложек методом фокусированных ионных пучков для создания микро- и наноструктур.
2012г. СЮРИК Ю.В. Разработка и исследование технологических основ создания пленок полимерных нанокомпозитов с углеродными наноструктурами для устройств микроэлектронной сенсорики.
2013г. СОЛОДОВНИК М.С. Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктур на основе арсенида галлия методом молекулярно-лучевой эпитаксии для элементов микро- и наноэлектроники.
2013г. КЛИМИН В.С. Разработка и исследование технологических основ создания массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок для устройств микроэлектронной сенсорики.
2014г. АЛЯБЬЕВА Н.И. Разработка и исследование технологических основ формирования наноразмерных планарных структур на основе пленок BiFeO3 для устройств обработки и хранения информации.
2015г. ЗАМБУРГ Е.Г. Разработка и исследование технологических основ формирования наноструктурированных пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения для чувствительных элементов газовых сенсоров.
2015г. ИЛЬИН О.И. Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов газовых сенсоров.
2016г. ЧИНЬ ВАН МЫОЙ Разработка и исследование технологических основ создания углеродных наноструктур для чувствительных элементов сенсоров газов сорбционного типа.
2016г. ИЛЬИНА М.В. Разработка и исследование конструктивно-технологических основ создания мемристорных стуктур на вертикально ориентированных углеродных нанотрубках
2016 г. АВИЛОВ В.И. Разработка и исследование технологических основ формирования оксидных наноразмерных структур титана методом локального анодного окисления для создания мемристоров
2016 г. ГРОМОВ А.Л. Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники
2019 г. ТОМИНОВ Р.В. Разработка и исследование технологических основ формирования элементов резистивной памяти на основе нанокристаллических пленок оксида цинка для нейроморфных систем
2019 г. ВАКУЛОВ З.Е. Разработка и исследование технологических основ формирования нанокристаллических пленок LiNbO3 методом импульсного лазерного осаждения для пьезоэлектрических преобразователей
2019 г. БАЛАКИРЕВ С.В. Разработка и исследование технологических основ синтеза самоорганизующихся наноструктур In(As)/AlGaAs методом капельной эпитаксии для элементов нанофотоники
2022 г. РУДЫК Н.Н. Разработка и исследование технологических основ формирования ориентированных массивов углеродных нанотрубок для чувствительных элементов сенсоров газа
2023 г. МАЛОХАТКО С.В. Исследование и разработка матричных пьезоэлектрических микроэлектромеханических ультразвуковых сенсоров
2024 г. ИЛЬИНА М.В. Разработка физико-технологических основ создания устройств нанопьезотроники на основе ориентированных углеродных нанотрубок (д. ф.-м. н.)