Научные центры

Научно-образовательный центр “Нанотехнологии”

(Сайт подразделения http://nanotech.sfedu.ru)

Научно-образовательный центр по направлению “Нанотехнологии” (НОЦ НТ) Южного федерального университета (ЮФУ) создан на базе Технологического института ЮФУ в г. Таганроге в рамках реализации Приоритетного национального проекта “Образование” и Федеральной адресной инвестиционной программы (мероприятия по развитию инфраструктуры наноиндустрии в РФ). В 2006-2008 г.г. для НОЦ НТ ЮФУ закуплено уникальное оборудование на сумму 479,3 млн.руб.

Область деятельности

  • наноматериалы
  • наноэлектроника
  • наносистемная техника
  • производственные нанотехнологии
  • биомедицинские нанотехнологии
  • нанодиагностика
  • нанохимия
  • нанофизика

Научные интересы

  • элементная база наноэлектроники и молекулярной электроники
  • элементная база квантовых клеточных структур и квантовых компьютеров
  • приборно-технологическое моделирование в наноэлектронике
  • исследование энергетического строения наногетероструктур
  • методы контроля электрофизических свойств наногетероструктур
  • планарные технологии с нанометровым разрешением
  • технологии формирования трехмерных наноструктур
  • зондовые нанотехнологии
  • фотонно-стимулированные процессы формирования наноструктур
  • микро- и наноаналитические системы состава жидких и газовых сред
  • микро- и нанооптикомеханические системы преобразования физических величин
  • датчики на основе наноструктурированных материалов и др.

Основными задачами НОЦ НТ являются:

  • учебная и учебно-методическая деятельность;
  • проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ;
  • целевая подготовка и переподготовка специалистов для народного хозяйства, подготовка кадров высшей квалификации;
  • внедренческая деятельность по производству и реализации наукоемкой продукции.

Структура НОЦ НТ ЮФУ включает в себя следующие лаборатории:

  • лаборатория кластерных технологий (гермозона 1 – многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ);
  • лаборатория элионных нанотехнологий;
  • лаборатория зондовых нанотехнологий;
  • лаборатория наноматериалов;
  • технологическая гермозона 2 (технологии микро- и наномеханики);
  • лаборатория микро- и наносистем;
  • лаборатория моделирования нанотехнологий и САПР;
  • лаборатория нанодиагностики;
  • центр лазерных технологий;
  • лаборатория оптоэлектроники и нанооптики.

Основные результаты:

  • основы технологии формирования планарных и трехмерных наноструктур
  • технология формирования каталитических центров для выращивания углеродных нанотрубок
  • фотонностимулированная технология формирования структур металлической наноэлектроники
  • теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования элементов наноэлектроники с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда в системе связанных квантовых областей, характеризующихся субпикосекундными задержками переключения
  • теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования интегральных инжекционных лазеров на основе наногетероструктур с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда, обеспечивающих амплитудную модуляцию излучения сигналами терагерцового диапазона для телекоммуникационных и вычислительных систем, средств связи, высокочувствительных систем медицинской диагностики, систем регистрации и анализа быстропротекающих физических процессов
  • принципы построения и теория трехосевых наномеханических сенсоров параметров движения объектов
  • методы и программные средства проектирования быстродействующих статических ОЗУ на основе наноразмерных элементов и др.

Основное оборудование НОЦ НТ:

  • комплекс НАНОФАБ НТК-9 фирмы NT-MDT, включающий модули: СЗМ, ФИП для создания 3D структур, ФИП с системой газовых инжекторов, ФИП локальной имплантации, лазерной абляции, ГФХО для осаждения углеродных нанотрубок, молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs и твердых растворов на его основе, отжига образцов;
  • электронный микроскоп Nova NanoLab 600 фирмы FEI, включающий систему электронной литографии ELPHY, систему микроанализа EDS, систему газовой химии для осаждения и травления материалов;
  • комплект оборудования для исследований зондовыми методами: СЗМ Solver P47Pro, нанолаборатория Ntegra Vita, учебные СЗМ NanoEducator;
  • Комплект оборудования для технологий микро- и наномеханики: установки плазмохимического осаждения в индуктивно-связанной плазме STE ICPd 47 и STE ICPe 45, установка плазмохимического осаждения poly-Si VISION 310PECVD, установка плазмохимического травления в кислородной плазме YES-CV200RFS, установка электронно-лучевого и магнетронного напыления AUTO500, установка термического отжига STE ThA 49 LC, установка совмещения и экспонирования MJB4, центрифуга для нанесения резистов WS-400E-NPP, центрифуга для сушки образцов WS-400E-6NPP, плитка для сушки резистов HP-401-250, плитка для сушки образцов HP-160-250, шкаф химический для химико-динамического травления, печь диффузионная PEO-604, зондовая станция ЭМ6070А, измерительный комплекс Keithley 4200-SCS, установка для измерения ЭДС Холла Ecopia HMS-3000/1T, зонд для полуизолирующих подложек LEI 2017B, установка бесконтактного измерения удельного сопротивления LEI 1510m40 и др.

Центр коллективного пользования “Нанотехнологии”

(Основной сайт http://ckpnano.sfedu.ru/ ‎)

ЦКП «Нанотехнологии» был создан в 2003 году как Региональный межведомственный центр коллективного пользования “Нанотехнологии”. В 2009 году преобразован в Центр коллективного пользования «Нанотехнологии» Южного федерального университета. ЦКП функционирует на принципах межвузовской и межведомственной кооперации, выполняя централизованное обслуживание научных исследований в соответствии с положением о центре.

ЦКП “Нанотехнологии” в своем составе имеет следующие лаборатории:

  • лаборатория микро- и наносистем;
  • лаборатория материаловедения и технологий;
  • лаборатория оптоэлектроники;
  • технологическая гермозона.

Приборный парк:

Многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ НТК-9, растровый электронно-ионный микроскоп с системой электронной литографии Nova NanoLab 600, сканирующая зондовая нанолаборатория Ntegra Vita, атомно-силовой туннельный микроскоп “Solver P47”, комплекс туннельных микроскопов “NanoEducator”, сканирующий электронный микроскоп “Phenom”.

Сфера деятельности:

Деятельность ЦКП “Нанотехнологии” состоит в выполнении научно-исследовательских работ по микро- и нанотехнологии, проектированию и конструированию полупроводниковых приборов микро- и наноэлектроники, а также обучении и повышении квалификации кадров, научно-методической помощи в области исследований поверхности и наноразмерных систем.

Основными потребителями услуг центра “Нанотехнологии” являются высшие учебные заведения, предприятия, научные организации г.Таганрога, Ростовской области и Южного Федерального округа. Услуги, предоставляемые ЦКП “Нанотехнологии” для различных организаций и предприятий являются экспериментальной площадкой для производства новых приборов и устройств в области микро- и нанотехнологий.


Центр проектирования специализированных интегральных схем и микросистем

(Основной сайт http://fep.tti.sfedu.ru/dcasic)

Центр проектирования специализированных интегральных схем и микросистем (Центр проектирования СИСМ) создан в 2004 году на кафедре конструирования электронных средств института нанотехнологий, электроники и приборостроения с целью проведения научных исследований и прикладных разработок в области  проектирования микроэлектронных систем. Деятельность центра направлена на создание условий для инновационной деятельности по производству конкурентно-способной научно-технической продукции, реализации результатов научной деятельности по направлению в виде конкретных рыночных продуктов, в том числе и интеллектуальной собственности.

Коллектив центра проектирования СИСМ составляют сотрудники кафедры конструирования электронных средств и Научно-образовательного центра «Нанотехнологии» ИНЭП. У данного коллектива имеется большой опыт в области проектирования заказных интегральных схем. По заказу НПК «Технологический центр» МИЭТ (г. Зеленоград) выполнена разработка быстродействующей встраиваемой памяти СБИС. Также по заказу ОАО НКБ ВС (г.Таганрог) за последние годы разработан ряд проектов сложных функциональных блоков (IP-ядер) обработки изображений, предназначенных для использования в видеопроцессорах. Выполнен ряд работ по разработке и исследованию методов и средств проектирования и моделирования специализированных СБИС видеопроцессоров.